本实用新型涉及一种低电压射频微机电系统开关及其封装结构，包括：一射频微机电系统开关；开云真人 开云真人网址一加盖层，覆盖于所述的射频机电系统开关上；一密封层，覆盖于所开云网站 开云真人官网述的加盖层上。其中加盖层上可开有腐蚀通道。加盖层还可为一层高分子加盖层。本实用新型中的系统开关含有多个驱动电极，增强了和传统集成电路集成的可能性，本实用新型提供了一种新型气相可渗透高分子保护层概念，不在保护层上开孔或者通道，简化了工艺。同时采用本实用新型的封装结构，减小了微机电系统在制造中被损毁的机率，提高了成品率。

　　--

　　--

　　--

　　--

　　--

　　--

　　--

　　--

　　--

　　--

　　--

　　未缴年费专利权终止IPC(主分类):H01P 1/10申请日:20090619授权公告日:20100526终止日期:20110619

　　党兵,王国安.低电压射频微机电系统开关及其封装结构[P].H01P1/10(2006.01):CN201490302U,2009-06-19.